Китай совершает крупный прорыв в области лазерного оборудования
2026-04-24
Китай совершает крупный прорыв в области лазерного оборудования
23 апреля Государственная ключевая лаборатория экстремальной оптики и приборостроения при Чжэцзянском университете провела в Ханчжоу пресс-конференцию, на которой объявила о значительном достижении: успешной разработке 10 000-канальной системы 3D-литографии методом прямого лазерного письма на наноуровне. Эта инновация обеспечивает критически важную технологическую поддержку для таких областей, как литография со сверхвысоким разрешением, производство фотонных чипов и изготовление высококлассных фотошаблонов.
Сообщается, что технология двухфотонного прямого лазерного письма представляет собой передовое направление в сфере микро- и нанопроизводства и находит широкое применение в таких областях, как изготовление чипов, оптическое хранение данных, микрофлюидика и высокоточные сенсорные системы. Это обусловлено ее очевидными преимуществами: высоким разрешением, минимальным тепловым воздействием, возможностью работы без использования фотошаблонов и способностью к истинно трехмерной обработке. Однако традиционные одноканальные системы прямого лазерного письма сталкиваются с ограничениями в скорости обработки, из-за чего им трудно удовлетворить промышленные потребности в высокоточном производстве на больших площадях.
Для решения этой задачи исследовательская группа использовала технологию двухфотонного прямого лазерного письма и предложила схему модуляции светового поля, объединяющую цифровые микрозеркала с массивом микролинз. Эта система способна формировать более 10 000 независимо управляемых лазерных фокальных пятен. Энергию каждого фокального пятна можно с высокой точностью регулировать в диапазоне, насчитывающем более 169 дискретных уровней, что обеспечивает возможность независимого управления по множеству каналов.
Куан Цуйфан, заместитель директора Государственной ключевой лаборатории экстремальной оптики и приборостроения при Чжэцзянском университете, сравнила этот прорыв с «одновременным написанием 10 000 различных символов с помощью 10 000 ручек». Она отметила: «Главная сложность заключается в том, чтобы “писать” одновременно и точно, и равномерно». Куан также пояснила, что разработанная система литографии методом прямого лазерного письма на данный момент достигла сверхвысокой скорости печати — 2,39 × 10⁸ вокселей в секунду, что выводит ее как по скорости обработки, так и по точности на передовые позиции в соответствии с международными стандартами.
