Выпущено суперсердце китайской спутниковой лазерной связи: размером всего с монету 

Недавно Шанхайский институт микросистем и информационных технологий Китайской академии наук разработал высокопроизводительное зеркало MEMS с быстрым отражением и встроенными датчиками угла. Зеркало имеет большой размер, небольшой объем корпуса, превосходную производительность и большой потенциал в области лазерной спутниковой связи.

Разработка зеркала с быстрым отражением заняла почти пять лет. Оно использует двухслойную гетерогенную интеграцию и технологию соединения на уровне пластин, а его объем составляет всего лишь размер монеты в 1 юань.

Оно преодолевает технические узкие места традиционных механических зеркал с быстрым отражением и оригинальных зеркал MEMS с быстрым отражением, создавая продукт космического класса с точностью наведения мкрад, отвечающий сверхвысоким показателям производительности спутниковых приложений.

Вдохновленная экранами мобильных телефонов, команда использовала принцип кремниевой пьезорезистивной деформации для интеграции датчиков угла на кристалле, и благодаря структурным инновациям чувствительность была увеличена на 63%, оптимизировав точность управления лучом.

Результаты испытаний показывают, что на определенной частоте точность угла соответствует стандарту, а максимальная динамическая деформация поверхности составляет всего 2 нанометра.

Официальная аналогия заключается в том, что это эквивалентно тому, что все неровности на зеркале размером с футбольное поле не больше диаметра волоса, что соответствует строгим требованиям к форме поверхности зеркала для дальней спутниковой лазерной связи.